压力传感器是工业自动化仪表中测量压力的传感器。压力传感器的应用十分广泛,在冶金、石油、化工、航空和航天等工业部门以及市政建设和环境保护领域都有应用。
压力传感器的种类很多,按照工作原理的不同可分为应变式和非应变式两类:应变式传感器是将被测的物理量通过弹性元件转换为与弹性元件形状及尺寸都有关的电信号输出的一种器件;非应变式的特点是将被测的物理量转换成为与之对应的电阻值的变化,再由电路处理后转换成相应的电压或电流输出的一种器件。
按照结构不同又可分为膜盒型、扩散硅压阻型及陶瓷电容型三大类:
(1)膜盒型传感器是由一层薄而透明的薄膜构成的一个封闭的压力容器,它将被测介质的压力直接转换成电信号输出;
(2)扩散硅压阻型的特点是在敏感元件的外部有一层很薄的半导体材料作为传压导体;
(3)陶瓷电容型的特点是利用一个微小的陶瓷电容与被测量的变化进行耦合来传递能量,其灵敏度很高但价格较高。