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氦质谱检漏法是采取氦气做为示漏气体，由于氦气的荷质比小，在检漏历程中不受另外气体的困扰，是以，它是一种反响麻利，能检出极褊狭漏孔的绝对抉择性检漏办法。

甚么叫质谱仪？

应用质谱旨趣制成的仪器称为质谱仪。质谱仪旨趣是：颠末其中央部件质谱室，使不同原料的气体变为离子并在某种场中行动后，不同荷质比的离子在场中互相隔开，而类似荷质比的离子在场中集聚在一同，假若在合适场所安顿接纳器接纳一齐这些离子，就会获得依照荷质比巨细，次第隔开分列的质谱图，这便是质谱。

甚么是氦质谱仪？

特意策画的把氦示踪气体举办检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪。氦质谱检漏仪的旨趣是，当一个带电质点（正离子）以必然速率V投入平均磁场的解析器中后，假若速率V的方位和磁场H的方位相笔直，它的行动轨迹为圆，不同质合比（m/e）的粒子在磁场中有相应的行动轨迹，云云，不同荷质比的带电粒子在磁场行动后会隔开，假若在粒子行动门路中安设一路挡板将其余粒子挡掉，而在氦粒子的行动门路开一个狭缝而被领受极领受造成氦离子流，并颠末夸大器夸大而被丈量仪差遣出来。检漏时，氦气投入检漏仪氦质谱室中，使仪器产生麻利的反响，造成检漏的影响。

由于空气中氦气少许，氦质谱仪的本底电流及噪音也很少，是以可将示漏氦气的记号只管夸大而不怕空气的影响，云云能够测出极其矮小的讯号，进而检出微小的漏孔；由于氦气是惰性气体，具备分子小，原料轻，分散快，穿透性强，相应快且安定，加之不起化学影响，不玷污工件，职掌平安等特征，以致操纵氦质谱检漏仪技巧（简称氦检漏技巧）日趋遭到注重。

氦质谱仪的总体组织

正常状况下，氦质谱检漏仪是由质谱室、真空系统、电气系统构成，偶尔还须要建设扶助的真空系统。以°的磁偏转型解析器检漏仪举例，其重要构成部份详解以下。

01

质谱室

征象的说，质谱室是氦质谱检漏的心脏，由离子源、解析器和电气系统三个部份构成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有益于褊狭的粒子流夸大，将第甲第夸大用高阻及静电计管也放在质谱室以内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽暇，而外部建设永远磁铁造成磁解析器的磁场。

02

真空系统

真空系统是供应质谱室正常做事的前提。由于钨阴极正常做事时须要具备0.-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在解析器中的行动有较高的传输率，是以设立一个高真空系统是须要的。系统中的节能阀则是为了餍足质谱室做事压力的调整，该阀全开时检漏麻利度最高，是以在前提许可状况下开启大些为好。检漏时为了校准检漏麻利度，系统中建设了准则漏孔。

03

电气系统

氦质谱仪电气部份的中央是质谱室的供电和丈量，其余部份包含真空系统的电源与操纵部份，支配面板及输出风度等。重要含有小电流夸大器及输出安装、低频产生器、高压整流器及发射电流安定安装、高压整流器供应冷阴极磁控规电源。

04

扶助真空系统的建设

在氦质谱仪检漏技巧中，依照被检件的组织，尺寸要乞降详细的检漏前提，建设具备预抽被检件、保证检漏仪做事真空度、举办气体分流、缩小反当令间和排除工夫、消沉对麻利度的不良影响等机能的扶助真空系统，在某些前提下是希奇须要的。

准则漏孔

操纵氦质谱仪的光阴能否氦质谱仪能颠末自检，那就觉得这台氦质谱检漏仪是正常的呢？原本否则，氦质谱仪能颠末自检，可是阐明，氦质谱仪自己基础没有题目。然而，氦质谱仪能否明确？这个虚浮定。

氦质谱仪自检，首先要审查氦质谱仪自己的软、硬件没有题目；其次周边的处境，合适氦质谱仪的操纵；而氦质谱仪明确与否，是由内置的准则漏孔决计。准则漏孔便是权衡检漏仪能否明确的一把尺子。假若，准则漏孔禁止确，即探测的尺子禁止确，用这儿尺子丈量的效果，也是禁止确的。

为甚么氦质谱仪要用外置准则漏孔标定

输入过错的内置漏孔漏率值，氦质谱仪自检时正常也能颠末，阐明氦质谱仪是对照性测试设立，氦质谱仪自己并不晓得检漏记号对应的漏率是几何，必须要有参照物——标注漏孔来肯定。

是以，现有氦检漏相干准则中都详细规章了氦质谱检漏仪在操纵前，操纵历程中庸操纵后要明确操纵准则漏孔举办标漏，才气保证氦检漏效果的明确性。

何如保证准则漏孔的明确性

保证准则漏孔的明确，便是保证氦质谱检漏仪探测效果的明确性。怎样保证准则漏孔的明确性？

01

准则漏孔的本身要契合相干的原料请求

准则漏孔能自带第三方的探测文凭。比如，美国国度计量院NIST；华夏国度计量院，或有天性的检定机构；德国的DKD等。准则漏孔要颠末有准则漏孔检定天性的第三方，举办检定。以此来保证准则漏孔自己没有题目。

02

准则漏孔要屡次检定、校准

提议每年举办一次校准。希奇是年走漏率大的准则漏孔，更是要注重，屡次校准。假若发掘反常，要用外置漏孔校准。

02

注重操纵的处境

准则漏孔的临盆、探测，都是在20-25℃的室温下举办。希奇有些准则漏孔，对温度希奇敏锐。温度每改变1℃，准则漏孔的漏率就有3%以上的过失。比如，炎天，室温抵达30℃，这类准则漏孔的漏率过失增添30%。在此种状况下，氦质谱检漏仪自检颠末了，然而漏率的过失反而增添了30%。这时就要采取改正公式，对准则漏孔的漏率举办温度改正。

罕用的氦检漏办法

01

吸枪法——肯定漏孔场所

将专用吸枪连接在仪器检漏口上，被检件则充入规章压力的氦气（纯氦气或必然比例含氦的搀杂气）。检漏时，让吸枪沿思疑漏孔处渐渐挪动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被探测。

02

示踪法——肯定漏孔场所

该办法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并抵达真空连续与质谱管疏通，尔后用喷枪向思疑漏孔喷吹氦气。当有漏孔存在时，氦气就颠末漏孔投入质谱管被探测出来。

03

护罩法——丈量总漏率

将被检件与仪器漏口连接抽真空，在被检件表面罩以布满氦气的容器，如被检件有漏孔，氦气便由漏孔投入被检件，终究抵达质谱管被探测出来。所测漏率是被检件的总漏率，不能肯定有几个走漏点和每漏点的明确场所。

04

背压法——测总漏率

电子元器件举办气密性探测时罕用背压法。检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和工夫操纵压入的量），尔后掏出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐连接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，践诺检漏。若元器件有漏，则颠末该漏孔压入的氦气又释放出来投入检漏罐，终究抵达质谱管。

压力容器氦检漏罕用的准则有哪些？

GB/T无损探测氦走漏探测办法

规章了吸枪、示踪探头和护罩三种氦检漏办法和技巧。

HG/T钢制化工容器制作技巧请求

附录B引见了嗅吸探头、示踪探头和护罩探测三种氦检漏实验办法。

NB/T.8承压设立无损探测

第8部份：走漏探测在附录D、附录E和附录F中规章了吸枪技巧、示踪探头技巧和护罩技巧三种氦检漏实验办法。

NB/T.8核电厂核岛死板设立无损探测

第8部份：走漏探测附录C、附录D和附录E中规章了核级设立嗅吸探头、示踪探头和护罩探测三种氦检漏实验办法。小结

以上几种准则中的氦检漏办法尽管叫法有进出，但实验办法都大同小议。吸枪和示踪技巧只可定性、定位举办检漏，护罩技巧能够定量举办设立的检漏。末了以GB/T中的图表，做为三种压力容器氦检办法的小结。

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