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氦质谱检漏法是采纳氦气做为示漏气体，由于氦气的荷质比小，在检漏历程中不受此外气体的干预，是以，它是一种反响精巧，能检出极弱小漏孔的绝对取舍性检漏办法。

甚么叫质谱仪？操纵质谱道理制成的仪器称为质谱仪。质谱仪道理是：颠末其中央部件质谱室，使不同品质的气体变为离子并在某种场中活动后，不同荷质比的离子在场中相互隔开，而雷同荷质比的离子在场中集聚在一同，倘使在合适地方安排采纳器采纳一切这些离子，就会获得遵照荷质比巨细，顺序隔开分列的质谱图，这便是质谱。甚么是氦质谱仪？特地计划的把氦示踪气体举办检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪。氦质谱检漏仪的道理是，当一个带电质点（正离子）以确定速率V加入平匀磁场的解析器中后，倘使速率V的方位和磁场H的方位相笔直，它的活动轨迹为圆，不同质合比（m/e）的粒子在磁场中有反应的活动轨迹，云云，不同荷质比的带电粒子在磁场活动后会隔开，倘使在粒子活动路线中安设一同挡板将其余粒子挡掉，而在氦粒子的活动路线开一个狭缝而被采纳极采纳构成氦离子流，并颠末夸大器夸大而被权衡仪批示出来。检漏时，氦气加入检漏仪氦质谱室中，使仪器产生精巧的反响，构成检漏的效用。由于空气中氦气少少，氦质谱仪的本底电流及噪音也很少，是以可将示漏氦气的记号尽管夸大而不怕空气的影响，云云也许测出极其弱小的讯号，进而检出微小的漏孔；由于氦气是惰性气体，具备分子小，品质轻，散布快，穿透性强，反应快且不乱，加之不起化学效用，不浑浊工件，操纵平安等特征，导致操纵氦质谱检漏仪本领（简称氦检漏本领）日趋遭到珍视。氦质谱仪的总体布局质谱正常状况下，氦质谱检漏仪是由质谱室、真空系统、电气系统构成，偶尔还需求建设帮助的真空系统。以°的磁偏转型解析器检漏仪举例，其首要构成部份详解以下。

01质谱室

局面的说，质谱室是氦质谱检漏的心脏，由离子源、解析器和电气系统三个部份构成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有益于弱小的粒子流夸大，将第甲第夸大用高阻及静电计管也放在质谱室以内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽暇，而外部建设永远磁铁构成磁解析器的磁场。02真空系统真空系统是供应质谱室正常办事的前提。由于钨阴极正常办事时需求具备0.-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在解析器中的活动有较高的传输率，是以创建一个高真空系统是需求的。系统中的节能阀则是为了满意质谱室办事压力的调整，该阀全开时检漏精巧度最高，是以在前提理睬状况下开启大些为好。检漏时为了校准检漏精巧度，系统中建设了准则漏孔。

03电气系统

氦质谱仪电气部份的中央是质谱室的供电和权衡，其余部份囊括真空系统的电源与掌握部份，安排面板及输出仪容等。首要含有小电流夸大器及输出安设、低频产生器、高压整流器及发射电流不乱安设、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。04帮助真空系统的建设在氦质谱仪检漏本领中，凭借被检件的布局，尺寸要乞降详细的检漏前提，建设具备预抽被检件、保证检漏仪办事真空度、举办气体分流、缩小反当令间和排除工夫、低沉对精巧度的不良影响等功效的帮助真空系统，在某些前提下是希奇需求的。准则漏孔操纵氦质谱仪的功夫能否氦质谱仪能颠末自检，那就以为这台氦质谱检漏仪是正常的呢？原本否则，氦质谱仪能颠末自检，可是阐明，氦质谱仪本身根基没有题目。然而，氦质谱仪能否精确？这个谬误定。氦质谱仪自检，首先要查看氦质谱仪本身的软、硬件没有题目；其次周边的处境，合适氦质谱仪的操纵；而氦质谱仪精确与否，是由内置的准则漏孔决议。准则漏孔便是权衡检漏仪能否精确的一把尺子。倘使，准则漏孔不许确，即探测的尺子不许确，用这儿尺子权衡的成绩，也是不许确的。为甚么氦质谱仪要用外置准则漏孔标定输入差错的内置漏孔漏率值，氦质谱仪自检时正常也能颠末，阐明氦质谱仪是对照性测试装备，氦质谱仪本身并不晓得检漏记号对应的漏率是几何，确定要有参照物——标注漏孔来肯定。是以，现有氦检漏关联准则中都详细规章了氦质谱检漏仪在操纵前，操纵历程中庸操纵后要精确操纵准则漏孔举办标漏，才干保证氦检漏成绩的精确性。怎样保证准则漏孔的精确性保证准则漏孔的精确，便是保证氦质谱检漏仪探测成绩的精确性。何如保证准则漏孔的精确性？01准则漏孔的本身要合适关联的品质请求准则漏孔能自带第三方的探测文凭。譬喻，美国国度计量院NIST；华夏国度计量院，或有天分的检定机构；德国的DKD等。准则漏孔要颠末有准则漏孔检定天分的第三方，举办检定。以此来保证准则漏孔本身没有题目。02准则漏孔要常常检定、校准倡导每年举办一次校准。希奇是年透露率大的准则漏孔，更是要细致，常常校准。倘使发掘反常，要用外置漏孔校准。03细致操纵的处境

准则漏孔的临盆、探测，都是在20-25℃的室温下举办。希奇有些准则漏孔，对温度希奇敏锐。温度每变动1℃，准则漏孔的漏率就有3%以上的过错。譬喻，炎天，室温到达30℃，这类准则漏孔的漏率过错添加30%。在此种状况下，氦质谱检漏仪自检颠末了，然而漏率的过错反而添加了30%。这时就要采纳改正公式，对准则漏孔的漏率举办温度改正。

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